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大金系列压缩机
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SLJ系列超低温制冷机利用将一个能到-120°C以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短真空的时间(可缩短60~90%的抽气时间)从而获得洁净的真空环境,特别适合半导体行业。冠亚超低温冷冻机采用新型无毒环冷媒,可替代目前液氮冷冻法,与传统冷却法对比,冷媒可循环使用,大大降低了企业成本。主要应用于真空镀膜(溅镀、蒸镀);半导体(晶圆加工)等行业
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SLJ系列超低温制冷机利用将一个能到-120°C以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短真空的时间(可缩短60~90%的抽气时间)从而获得洁净的真空环境,特别适合半导体行业。冠亚超低温冷冻机采用新型无毒环冷媒,可替代目前液氮冷冻法,与传统冷却法对比,冷媒可循环使用,大大降低了企业成本。主要应用于真空镀膜(溅镀、蒸镀);半导体(晶圆加工)等行业
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